VT6000系列激光共聚焦3D圖像顯微鏡具有優(yōu)異的光學分辨率,，通過清晰的成像系統(tǒng)能夠細致觀察到晶圓表面的特征情況,，例如：觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷,。電動塔臺可以自動切換不同的物鏡倍率,，軟件自動捕捉特征邊緣進行二維尺寸快速測量,，從而更加有效的對晶圓表面進行檢測和質量控制,。此外還可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工,、微納材料制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中,。可測各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等，

產品功能

1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)設備具備自動拼接功能,，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,，預先設置好配置參數再進行測量,，軟件自動統(tǒng)計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能,；

4)設備具備調整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數據處理功能,；

5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結構分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數據文件的快速分析功能；

技術指標

應用領域

對各種產品,、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

自設計之初，VT6000激光共聚焦3D圖像顯微鏡便定下了“簡單好用"四字方針的目標,。

1）結構簡單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動,，實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設計,；

2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),；

3）操作便捷：采用全電動化設計,，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果,；

4）采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優(yōu)化,，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對,。